氣體檢測/測漏流(liu)量計
産品簡介：
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liu)量氣體的測量和(he)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公司(sī)📧自主研發的微機(jī)電系統🚶♀️（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作🍓，适用(yòng)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jing)🌍，成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bu)償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
主要參數(shu)：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bi) |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fang)式 |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gōng)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無結冰、無凝露(lu)） |
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機械接口 |
可拆式(shi)軟管接頭 |
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校準方(fang)式 |
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重量 |
15 |
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