微小氣體流(liu)量計FS4001
産品簡(jiǎn)介:
FS4001
系列小流(liu)量氣體質量流量(liàng)傳感器是廣州迪(di)川儀器❗儀表有🐉限(xian)公司專門爲各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過程控制而(er)🚶♀️設計的。這㊙️一系列(liè)傳感器均采用本(běn)公司自主研發的(de)微機💯電系統(
MEMS
微小氣體流(liu)量計FS4001
産品特(te)點:
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傳感器靈(líng)敏度高
有極(jí)小的始動流量
傳感器芯片采(cai)用熱質量流量計(jì)量
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感器(qi)的高精度計量
在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qi)集成
,
使傳感(gǎn)器的量程比大大(dà)提高
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傳感器(qì)的零點穩定度高(gao)
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低功(gong)耗
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低壓損
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響應時間快
主(zhu)要參數:
FS4001系列微小(xiǎo)流量計
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單位 |
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通 徑 |
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mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
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重複性 |
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% 讀數 |
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±30 |
mV |
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±0.12 |
%/oC |
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響應時(shí)間 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
RS232/ 0.5~4.5Vdc |
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350 |
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pa |
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工作溫(wen)度 |
-10 ~ +55 |
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存儲溫度(du) |
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oC |
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(無結冰、無凝露(lù)) |
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機械接口 |
可拆式軟管接(jie)頭 |
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校準方式(shì) |
20oC 101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
15 |
g |
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FS4001系列微小流量(liang)計 85628522