微小(xiǎo)氣體流量(liang)計,MF4001氣體流(liú)量計
産品簡介(jie)：
FS4001系列(liè)小流量氣(qì)體質量流(liú)量傳感器(qì)是廣州迪(dí)川儀器❓儀(yi)表💃有限🧑🏽🤝🧑🏻公(gōng)司專門爲(wèi)各類小流(liú)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(ér)設計的。這(zhe)一系列傳(chuán)感器均采(cai)用本公司(sī)自主研發(fā)的微機🈲電(dian)系統（
MEMS）流量傳感(gan)芯片來制(zhi)作，适用于(yú)各類清潔(jie)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shǐ)之可用于(yú)各類管徑(jìng)，成本低、易(yì)安裝、不需(xū)要溫度壓(yā)力補償，可(kě)替代容積(ji)式或壓差(cha)式的傳統(tǒng)流量傳感(gǎn)器。
産(chan)品特點：
微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳感器(qì)靈敏度高(gāo)
,有極(jí)小的始動(dong)流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱(re)質量流量(liàng)計量
,無需溫度(du)壓力補償(chang)
,保證(zhèng)了傳
- 感器的高(gāo)精度計量(liang)
- 在單(dān)個芯片上(shàng)實現了多(duo)傳感器集(jí)成
,
- 傳感器(qi)的零點穩(wěn)定度高
- 全量程(cheng)高穩定性(xìng)
- 全量(liang)程高精确(que)度和優良(liang)的重複性(xing)
- 低功(gōng)耗
- 低(dī)壓損
-
|
性能參(can)數 |
單(dan)位 |
||
|
通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
zui大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(chéng)比 |
2132132132131231312100:1 |
|
|
|
精(jing) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重複性(xìng) |
0.25 |
% |
|
|
±30 |
mV |
||
|
輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
||
|
響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
|
|
||
|
zui大流量壓(ya)損 |
350 |
300 |
pa |
|
zui大(da)工作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
|
|
工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
工作(zuò)濕度 |
<95%RH（無結冰、無(wu)凝露） |
||
|
|
|||
|
空氣（或(huò)其他氣體(ti)）， 20oC， 101.325kPa |
|
||
|
重量 |
15 |
g |
|
訂貨詳情(qíng)請： 85628522
