流量(liàng)測量技(jì)術之
微小(xiao)流量
的測(cè)量
半導體(ti)制造業(yè)、生物工(gōng)程、精細(xi)化工等(děng)的興起(qǐ)，使流量(liang)測量向(xiang)低端延(yan)伸，小流(liu)量計流(liú)量的要(yào)求在上(shàng)世紀
80
∽
90
年代凸(tu)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量
?
業界(jiè)尚無*的(de)定義和(hé)界限，小(xiao)流量因(yin)應用領(lǐng)域而異(yì)🥵是一個(gè)模糊的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liang)體現于(yú)管徑🌏小(xiao)和流速(sù)低兩個(gè)層🔞次，就(jiù)🈲流程工(gōng)業而言(yán)，習慣上(shang)
DN10
甚(shèn)至
DN15
以下管(guan)徑流量(liàng)測量稱(chēng)之小流(liu)量測量(liang)，通常其(qí)流量值(zhi)液體爲(wèi)
1L/min
或(huò)
0.06m3/h
以(yi)下，流量(liàng)儀表滿(man)度流量(liang)時的流(liu)速低于(yú)
0.1m/s
。
1
、測量(liang)方法
傳統(tong)小流量(liàng)測量技(jì)術節流(liú)差壓
(
層流(liu)
)
法(fa)、浮子法(fǎ)和容積(ji)法等有(yǒu)了的改(gai)進，新測(cè)量技術(shù)如超聲(shēng)法、熱法(fa)、科裏奧(ao)利法等(deng)也有成(chéng)效地應(ying)于液體(ti)和氣體(ti)小🌂流量(liàng)🐪測量。
2
、特點(diǎn)
微(wei)小流量(liàng)與一般(ban)流量測(ce)量相比(bi)較，具有(yǒu)以下特(tè)點。
1)
雷諾數(shù)低
一般管(guǎn)道流動(dòng)均爲紊(wen)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shi)針對紊(wen)💜流⭐流動(dòng)💃🏻态設計(ji)的，而小(xiǎo)流量儀(yí)表因管(guan)徑小常(cháng)處于層(céng)流流動(dong)
(
例(li)如管内(nèi)徑
6mm
，流量
0.05L/min
，
Re
爲
1800
或層流(liú)
/
紊(wen)流過渡(du)區流态(tai)流動，小(xiǎo)流量測(cè)量受使(shǐ)用中流(liu)體黏度(dù)變化影(yǐng)🌏響頗大(dà)。
2)
要(yao)用實際(jì)使用流(liú)體校準(zhun)
液(yè)體流量(liàng)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qi)體用空(kong)氣校準(zhǔn)。若知道(dao)🏒實📞際測(ce)量流體(ti)與校準(zhun)流體間(jian)某些物(wu)性不同(tóng)對示值(zhí)有規律(lǜ)變化時(shí)，中大管(guan)徑流量(liàng)儀表常(cháng)以适當(dang)系數修(xiū)正。但有(you)些小流(liu)量儀表(biao)受黏度(dù)等流體(tǐ)物性影(ying)響大，須(xu)以實際(ji)使用流(liu)體校準(zhun)。所幸流(liú)量小，用(yòng)實際使(shǐ)用流體(tǐ)校準難(nán)度不大(da)，但在作(zuo)有害性(xing)流體校(xiào)準時應(ying)注意安(ān)全和環(huan)境污💋染(ran)。
3)
要(yao)求測量(liàng)時防止(zhi)污染流(liu)體
若測量(liàng)潔淨氣(qì)體和純(chun)水常不(bú)允許接(jiē)觸流體(ti)的儀表(biǎo)🏃♀️零件💯材(cái)料析出(chū)離子，例(li)如半導(dǎo)體制備(bèi)中儀表(biao)不能用(yong)金屬和(he)玻璃制(zhi)成，隻能(neng)用塑料(liao)。流體中(zhong)也不允(yǔn)許混入(rù)活動件(jiàn)的磨蝕(shi)💋塵粒。流(liú)量儀表(biǎo)流通通(tong)道要盡(jìn)可能簡(jiǎn)單，不應(ying)有潴留(liú)
(
指(zhi)液體在(zài)體内不(bu)正常地(dì)聚集停(tíng)留
)
部位，防(fang)止潴留(liu)介質變(biàn)質。
4)
氣泡和(he)塵埃附(fù)着的影(yǐng)響
因管徑(jing)小黏性(xìng)增加，液(ye)體中微(wei)細氣泡(pào)易在管(guǎn)系流動(dong)過程👌中(zhong)積聚變(bian)大，使測(ce)量時指(zhǐ)示不穩(wěn)，度下降(jiang)。流體中(zhōng)塵埃附(fù)着測量(liang)元件也(yě)要影響(xiǎng)測量值(zhí)，例如浮(fú)🔱子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chen)積有肉(rou)眼覺察(cha)不出的(de)附着層(céng)也會影(yǐng)響示值(zhí)。
5)
流(liú)量儀表(biǎo)品種使(shi)用上受(shou)到一定(ding)限制
在衆(zhōng)多測量(liàng)原理流(liú)量儀表(biao)中，因各(ge)種原因(yin)小流量(liang)應用受(shou)到一些(xiē)限制，當(dāng)前能應(yīng)用于小(xiao)流量的(de)品
種如(ru)表格所(suo)示
